半導体製造における洗浄技術 エレクトロニクス / 羽深等 〔本〕 - ショッピング・ショップ | 通販検索

ジャンル

建築・理工

フォーマット

本

出版社

シーエムシー出版

発売日

2024年12月

ISBN

9784781318561

発売国

日本

発売日:2024年12月 / ジャンル:建築・理工 / フォーマット:本 / 出版社:シーエムシー出版 / 発売国:日本 / ISBN:9784781318561 / アーティストキーワード:羽深等

内容詳細:細かな電子回路を作り込むのに必須である半導体表面の清浄化技術。洗浄液、洗浄・クリーン化・乾燥技術、洗浄装置、評価・観察・解析などの章構成で半導体洗浄技術の最新動向に迫る一冊。