半導体製造におけるエッチング技術 エレクトロニクス / 篠田和典 〔本〕 - ショッピング・ショップ | 通販検索

ジャンル

建築・理工

フォーマット

本

出版社

シーエムシー出版

発売日

2025年08月

ISBN

9784781318721

発売国

日本

発売日:2025年08月 / ジャンル:建築・理工 / フォーマット:本 / 出版社:シーエムシー出版 / 発売国:日本 / ISBN:9784781318721 / アーティストキーワード:篠田和典

内容詳細:半導体製造で用いられるエッチングに焦点を当て、プラズマエッチング、ウェットエッチング、プラズマダメージ、シミュレーション、原子層エッチング、金属アシストエッチング等、基礎から最新技術までを纏めた一冊。